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EBIC Amplifier用于對(duì)半導(dǎo)體樣品，器件，微納結(jié)構(gòu)可進(jìn)行EBIC,EBAC,RCI,EBIV和EBIRCH分析。通過MM3A/MM4將探針精確定位到探測(cè)位置，信號(hào)通過弱電流測(cè)量屏蔽套件（LCMK）傳輸?shù)絊EM/FIB視頻輸入端，并通過SEM/FIB成像。

LCMK-EM低電流測(cè)量套件是用于MM3A-EM微納操縱儀的低電阻、低噪音探針支架（probe holder）。它可以對(duì)導(dǎo)電樣品進(jìn)行低電容、低電流測(cè)量，從而增強(qiáng)MM3A的功能。

位置編碼的微納操縱儀（Encoded Micromanipulator），兼具M(jìn)M3A-EM產(chǎn)品的特點(diǎn)的同時(shí)，各軸都具有編碼功能，可實(shí)現(xiàn)位置的編碼、存儲(chǔ)、調(diào)用。一鍵恢復(fù)探針到工作或停留位置。

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德國kleindiek超微力測(cè)量系統(tǒng)是高精度微力測(cè)量測(cè)試系統(tǒng)，它與顯微操作器聯(lián)合使用,用于測(cè)量納米壓痕和超微力測(cè)量,還可用于測(cè)量細(xì)胞力學(xué),楊氏模量,微機(jī)電系統(tǒng)MEMS的彈簧常數(shù)和共振頻率的彈性參數(shù)。